LPCVD是什么意思?低压化学蒸发沉积


【英文缩写】 LPCVD

【词性类别】 电子电工,化学化工

【英文全称】 low pressure chemical vapor deposition

【中文解释】 低压化学蒸发沉积

【缩写简介】 集成电子和集成光学制造常用工艺。


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